大理石氣浮導軌
大理石氣浮導軌對材料的要求
大理石氣浮導軌的制作采用了是空氣靜壓，軸承技術,因此它具有軸/徑向跳動小、重復定位精度高、加載驅動力小、能在高轉速下平穩工作等特性.為了保證氣浮導軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:
1.導熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構件內部的溫度梯度,引起機器結構的扭轉和彎曲;
2.熱膨脹系數要小,避免在溫度-變化下產生過大的伸長縮短;
3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導軌在受力后出現較大的變形;
4.要有著較高的硬度及耐磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;
5.具有較高的強度,在力量范圍內不易斷裂;
6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產生的測量機慣性力不會造成損傷;
7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);
8.工藝性好,易于加工,成本要低.
作為超精密測量、超精密加工和半導體光刻等領域的重要應用,花崗石氣浮導軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發揮作用.
大理石氣浮導軌的使用要求
當運動件沿著承導件作直線運動時,承導件上的花崗石氣浮導軌起支承和導向的作用.為了保證花崗石導軌作用的實現,在設計的時候要完成這些相應的要求:
1.導向精度.導向精度是指運動件沿花崗石氣浮導軌移動的直線性,以及它與有關基面間的相互位置的準確性.
2.運動輕便平穩.工作時,應輕便省力,速度均勻,低速時應無爬行現象.
3.良好的耐磨性.導軌的耐磨性是指導軌長期使用后,能保持的使用精度.花崗石氣浮導軌在使用過程中要磨損,但應使磨損量小,且磨損后能自動補償或便于調整.
4.足夠的剛度.運動件所受的外力,是由花崗石氣浮導軌面承受的,故導軌應有足夠的接觸剛度.為此,常用加大導軌面寬度,以降低導軌面比壓;設置輔助導軌,以承受外載.
5.溫度變化影響小.應保證花崗石氣浮導軌在工作溫度變化的條件下,仍能正常工作.
6.結構工藝性好.在保證花崗石氣浮導軌其它要求的前提下,應使花崗石氣浮導軌結構簡單,便于加工、測量、裝配和調整,降低成本.
